三坐标非接触测量显微镜

2014年03月09日

以裂像聚焦指示器为测量原理, 采用高精度光学聚焦点检测方式进行非接触高低差测量。不仅可以对准目标影像, 还能观察测量点的表面状态,对高度,深度,高低差等进行测量。本仪器的各种镜筒还具有明暗场,微分干涉,金相,偏光等多种观察功能。所以对极细微的间隙高低差,夹杂物、微米以下的突起、细微划痕、以及金相组织进行观察。 

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秦玉芬
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